日本喜開理CKD減壓閥EVS2電空原裝正品
本品是30mm寬的小型、輕量、高性能電空減壓閥。較適合半導體、精密貼裝領域的先導減壓閥的控制、各種按壓控制、微速氣缸控制。
行業：半導體制造工序（后工序）

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日本喜開理CKD減壓閥EVS2電空原裝正品

特點：

【小型】
30×39×57.1（寬×高×長）。
小型、輕量，有助于裝置的小型化。

【高精度】
通過電氣信號，高精度、高速響應地控制流體壓力。
重復性：0.3%F.S.
分辨率：0.1%F.S.
響應時間：0.1sec（無負荷）

【動作狀態采用雙色進行顯示】

采用雙色顯示動作指示器，設定壓力時，顯示為綠色，設定以外與錯誤時，顯示為紅色。

【配管、配線作業簡單】
空氣配管：采用快插接頭，電氣配線：采用M12接頭，配管、配線作業簡單。

日本喜開理CKD減壓閥EVS2電空原裝正品

規格參數：

使用流體: 清潔壓縮空氣（JIS B8392-1：2012（ISO 8573-1：2010）[1：3：2]）
高使用壓力: 200kPa    0.7MPa
低使用壓力: 設定壓力＋高控制壓力×0.1
耐壓供給側: 300kPa   1.05MPa
耐壓輸出側: 150kPa 0.75MPa
壓力控制范圍（注1）: 1～100kPa 0.005～0.5MPa
電源電壓: DC24V±10% （波動率1%以下的穩定電源）
消耗電流: 0.1A以下 （電源ON時的浪涌電流0.6A）
輸入信號（輸入電阻）:
0    0-10VDC（6.7kΩ）
1    0-5VDC（10kΩ）
2    4-20mADC（250Ω）
3    0-20mADC（250Ω）
模擬輸出（連接負荷電阻）:AV 1-5VDC（50kΩ以上）  AA 4-20mADC（300Ω以下）
精度（注2）:遲滯 0.4％F.S.以下   線性度 ±0.5%F.S.以內  分辨率 0.1％F.S.以下  重復性 0.3％F.S.以下
溫度特性:零點變動 0.12％F.S./°C以下    滿量程變動 0.07％F.S./°C以下
大流量 （注3）: 2?/min（ANR） 8?/min（ANR）
響應時間（注4）:無負荷 0.1s以下   15cm3負荷 0.5s以下
使用環境溫度、流體溫度: 0～50°C
保存環境溫度: －20～60°C
使用環境濕度: 45～90%RH （不得結露）
保存環境濕度: 96%RH以下
安裝方式: 自由
主要尺寸: W30×D50×H39
配管口徑: H4 φ4快插接頭  H6 φ6快插接頭
重量 90g

• 注1：輸入信號為1%F.S.以下時，屬于不可控制范圍。

• 注2：電源電壓：24.0±0.1VDC、環境溫度：25±3°C、使用壓力范圍內的特性。 另外，也是設定壓力范圍10%～100%內的特性。

• 注3：使用壓力：高使用壓力、控制壓力：高控制壓力下的特性。

• 注4：使用壓力：高使用壓力、階段量： 50％F.S.→100％F.S. 50％F.S.→60％F.S. 50％F.S.→40％F.S.

• 注5：上述規格特性僅限于靜態狀態，輸出側消耗空氣時，控制壓力可能會產生變動。

EVS2電空減壓閥型號表示方法：

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