易福門為半導(dǎo)體行業(yè)的清潔實驗室提升能源效率

更新時間：2019-08-29

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易福門子公司PMD視覺技術(shù)公司新建立一個清潔實驗室，此實驗室用來研發(fā)和測試公司的3D視覺和距離傳感器。易福門流體類傳感器于此實驗室中用于監(jiān)控壓縮空氣系統(tǒng)以及真空泵的性能。

PMD技術(shù)公司今年搬進了SUMMIT的新辦公樓，實驗室的清潔間需要繼續(xù)提升和運行。為此，各種各樣的易福門傳感器購置到位，協(xié)助公司為3D和視覺傳感器的研發(fā)和測試提供的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

易福門氣體壓力傳感器PQ3834(針對壓縮氣體)和PQ3809(針對真空)，實現(xiàn)壓力信號的實時在線變化測量和監(jiān)控。ACCRETECH(原TSK，東京精密株式會社Tokyo Seimitsu )是半導(dǎo)體加工和精密測量儀器設(shè)備的制造商。該公司生產(chǎn)世界半導(dǎo)體的探針床，其功能是對晶圓上形成的所有芯片進行電氣特性自動化測試，使用這臺設(shè)備可以對芯片的合格

易福門傳感器安裝于清潔實驗室的中央控制單元

品與不良品進行篩選。另外，在ESMO(宜世摩)自動抓取和放置晶圓的機器手運行中也有氣動系統(tǒng)。這兩臺設(shè)備都需要壓力監(jiān)控。此外，易福門壓縮空氣流量計SD6050用于評估在系統(tǒng)運行時段內(nèi)的空氣總消耗量和泄漏情況。

IO-Link技術(shù)為在線人機界面監(jiān)控提供更為便捷可靠的連接

通過AL1940 的IO-Link 控制模塊和具有技術(shù)的netPi控制器，數(shù)據(jù)能夠清晰明了的通過Y-path和節(jié)點傳輸?shù)诫娔X端界面，配合Node-RED，以網(wǎng)頁瀏覽的方式展示不同的情況或者給出報警、非正常信號。該信號可以以各種渠道發(fā)出，例如email。另外，在控制器內(nèi)的netPI可以實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集，采集帶有時間節(jié)點的累積消耗流量，以CSV的格式發(fā)給FTP服務(wù)器。

Node-RED是基于數(shù)據(jù)流驅(qū)動的編程理念，它能夠方便的實現(xiàn)更加美觀、清晰的視覺顯示效果和編程（通過JavaScript），從而為沒有編程基礎(chǔ)的非專業(yè)工程人員在合理時間內(nèi)實現(xiàn)復(fù)雜IoT應(yīng)用提供了可能性。

以上圖片顯示的架構(gòu)和綜合參數(shù)給我們展示了一個系統(tǒng)集成解決方案的典型案例，這是一個在易福門SUMMIT辦公樓里已經(jīng)實現(xiàn)、正在運行以及基于工業(yè)4.0的數(shù)字智能傳感器提升運營效率的鮮活例子。

數(shù)據(jù)采集視圖

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